壓縮空氣CDA（Clean Dry Air）在半導體行業中具有極其重要的地位，在半導體制造過程中，微小的顆粒、水分或油分等污染物質都可能導致器件的損壞或制程的不穩定。CDA能夠提供高度純凈、干燥的氣體，從而保證了器件的可靠性和穩定性。

在半導體生產線上，CDA不僅用于清洗和沖洗設備，也用于保持生產環境的清潔。它可以防止粉塵、微粒和水分進入制程中，保證產品的質量。

器件的性能受到環境中的雜質和濕度的影響，因此CDA在半導體制程中是一個至關重要的環節。它保證了器件特性的可靠性和一致性。

在半導體制程中，許多工藝需要高溫環境，同時也需要高純度的氣體來避免器件的氧化和腐蝕。CDA在這方面發揮了重要的作用。

CDA的高質量保證了生產過程的穩定性，降低了制程中的變異性，從而提高了制程的良率。

依據 ISO 8573 針對 CDA 中會影響制程良率的各項重要指標，提供安裝后及使用期間定期檢測之服務。

在進行壓縮空氣CDA中壓縮氣體管路(P-CDA)的質量檢測時，通常需要關注以下項目：

壓縮氣體純度：檢測壓縮氣體中是否含有不純物質，如水分、油分、固體顆粒等。

壓縮氣體壓力：測量管路中的氣體壓力，確保它在制程中的要求范圍內。

壓縮氣體流量：檢測氣體的流速和流量，以確保它滿足制程的需求。

管路泄漏檢測：查找和修復任何潛在的氣體泄漏，以確保沒有未經授權的氣體流失。

管路材質和連接檢查：檢查管路的材質和連接部分，確保它們符合標準并不會導致污染或其他問題。

壓縮氣體干燥度檢測：檢測壓縮氣體中的濕度水平，因為高濕度可能會對制程產生不利影響。

管路清潔度：確保管路內部干凈，沒有沉積物或污垢，以防止污染。

安全性檢查：確保管路系統的所有安全設備和閥門正常工作，以防止潛在的危險。

委托專業的壓縮空氣檢測機構可以確保你的管路系統符合質量和安全測試項目：

油份含量(總碳氫化合物)分析
微粒子數分析 (0.1um ~10um )
水份及露點分析
微生物污染分析
CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析